반도체 재료(소재), 부품을 생산하는 기업군.
티씨케이
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반도체, 태양전지 및 LED용 부품 전문 업체. 고순도 흑연(Graphite)을 이용한 반도체 실리콘 잉곳을 생산하는 Growing 장비용 Graphite 부품(고순도 흑연 제품)을 국내 최초로 국산화하여 제조, 판매. 반도체 Device업체에서 사용하는 장비의 Solid SiC Wafer, Ring 등을 판매 중에 있으며, SiC coating사업으로 반도체 ALD 장비에 들어가는 Susceptor류와 LED Chip 생산용 Wafer Carrier를 제조, 판매 중. Solid SiC 사업 부문 매출 비중이 높으며, 매출 대부분은 반도체에서 발생.
디엔에프
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반도체 소자 형성용 박막 재료 전문업체. 미세패턴 구현을 위한 패터닝용 희생막 재료인 DPT(Double Patterning Technology) & QPT(Quadruple Patterning Technology) 재료, Capacitor 유전막 및 Metal Gate 절연막으로 사용되는 High-k 재료, 저온 공정용 SiO/SiN 재료, 웨이퍼 패터닝 시 PR 보조역할을 하는 Hardmask용 ACL(Amorphous Carbon Layer) 재료, 메탈과 절연층과의 산화반응을 막아주는 확산 방지막 재료, 메탈의 원활한 증착을 돕는 Seed layer 재료 등을 주요 제품으로 생산.
와이씨켐
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반도체 등 초정밀 산업용 케미컬 소재 전문업체. 반도체 공정 재료 부문에서 특수 Surfactant와 polymer를 활용하여 ArF 공정 시 패턴 쓰러짐을 방지하는 용액 개발에 성공하여 상용화. EUV 공정용 패턴 쓰러짐 방지 용액과 현상액을 개발하였으며, 현상력 향상과 Profile 개선 효과가 있는 PHOTO Mask 현상액(Developer), Capacitor의 쓰러짐 방지와 세정력 향상을 위한 세정액, 높은 두께 및 고해상도가 가능한 다양한 KrF, i-Line Photoresist, BARC, SOC, CMP Slurry, Thinner류에 이르기까지 반도체 재료의 다변화와 신소재 제품 개발.